掃描式電子顯微鏡(SEM)

FEI 提供了一系列 SEM 以滿足客戶的需求。這些系統可通過細微聚焦電子束對樣品表面進行掃描以生成圖像，可達到 1 nm 線寬解析度的檢測。
二種 FEI 產品系列：

Nova 系列:都具備有在高真空及低真空模式下高影像解析度功能，是材料實驗室、生物及生命科學實驗室、半導體、和其他各行業所需的必備之選。

Quanta 系列:工具其中包括，三種模式（高真空、低真空及 ESEM）場發射槍 (FEG/SEM)是多用途、高性能的掃描電子顯微鏡，是適用於各種產業實驗室、材料科學實驗室和生命科學實驗室的理想 SEM。